Technology Development技術開発

弊社のエンジニアは半導体技術開発・量産のエキスパートです。適切な設備・専門知識を提供し、お客様の開発をサポートします。半導体に限らず、エネルギー、バイオ・メディカルセンサーなど各種新興技術にも対応いたします。情報は完全に保護され、開発した技術はお客様に帰属しますので、安心して開発いただけます。

各種技術開発

ティーイーアイソリューションズの設備とエンジニアを用いて、お客様の技術を開発します。開発の進め方・方法はお客様のご要望に沿って行います。各種ウェハサイズ、材料、装置を取り揃えております。MEMS受託加工などもおこなっておりますのでお問い合わせくださいませ。

開発技術の例
  • 新規トランジスタ
  • 新規メモリ
  • ナノポア
  • 超伝導量子ビット
  • 太陽電池
  • MEMS/Bio-MEMS

ナノギャップ形成&測定例

ナノギャップ形成例

ナノギャップ形成例
Au/Cr電極(ギャップ幅10nm)を形成
外観SEM観察

ナノプローブ測定例

ナノプローブ形成例
微細電極測定例


マイクロ流路形成例


Si ピラーパターン例

  • X-SEM
    X-SEM
  • TILT SEM
    TILT SEM
  • Si pillar
    Pitch = 140nm
    Diameter = φ70±5nm
    Depth = 500nm

TMAH&BHFウェットエッチ受託サービス

4インチから12インチSiウェハのTMAH&BHFウェットエッチの受託サービスを行っております。
TMAHウェットエッチのSiエッチレートは20μm/hour程度で、面内均一性は10%以下となっております。


テーマ別技術開発

テーマを選定し研究開発を進めます。お客様はプロジェクトにご参加いただくかたちで情報を共有します。