2016年 6月 14日 テストウェハー販売ご案内

材料や装置評価に用いるブランケット膜、及びパターニングされたウェハーをご提供します。

膜種：熱酸化膜、LP-CVD、Plasma-CVD、スパッタ膜、レジスト塗布　等

パターン：L/Sパターン、Holeパターン、Damasceneパターン　等

弊社所有のマスクパターンをご利用いただけるほか、御社ご要望の新規パターン・構造の開発も承ります。各種ウェハーサイズの対応が可能です。シリコン基板以外のウェハーにも対応が可能ですので、お気軽にご相談ください。