tei solutions

4インチから12インチSiウェハのTMAH＆BHFウェットエッチの受託サービスを行っております。
TMAHウェットエッチのSiエッチレートは20μm/hour程度で、面内均一性は10%以下となっております。
4インチ以下のSi小片なども対応可能ですのでお問い合わせくださいませ。